특허/인증

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태양전지 웨이퍼용 도핑 프로세스 튜브의 배기 노즐
출원/등록 등록
출원일/등록일 2012.12.31 / 2014.8.20
특허등록번호 제 10-1434654호
비고
태양전지 웨이퍼용 도핑 프로세스 튜브도어
출원/등록 등록
출원일/등록일 2012.12.31 / 2014.8.8
특허등록번호 제 10-1430752호
비고
태양전지 웨이퍼용 도핑 프로세스 튜브도어
출원/등록 등록
출원일/등록일 2012.12.31 / 2014.6.19
특허등록번호 제 10-1412224호
비고
태양전지 웨이퍼용 도핑 프로세스튜브의 폐기 응축 장치
출원/등록 등록
출원일/등록일 2012.12.31 / 2014.3.5
특허등록번호 제 10-1373314호
비고
반도체 웨이퍼용 소형 열처리 장치
출원/등록 등록
출원일/등록일 2009.03.16 / 2011.09.21
특허등록번호 제 10-1068273호
비고
반도체 웨이퍼용 소형 열처리 장치
출원/등록 등록
출원일/등록일 2007.10.30 / 2009.12.02
특허등록번호 제 10-0930970호
비고
에스아이오씨 박막 제조용 프리커서를 이용한 박막 형성 방법
출원/등록 등록
출원일/등록일 2007.09.14 / 2009.02.12
특허등록번호 제 10-0885632호
비고
에스아이오씨 박막 제조용 프리커서를 이용한 박막 형성 방법
출원/등록 등록
출원일/등록일 2007.12.10 / 2009.09.25
특허등록번호 제 10-0920033호
비고
강화유리 제조장치
출원/등록 등록
출원일/등록일 2010.01.28 / 2011.10.18
특허등록번호 제 10-1076394호
비고
반도체 웨이퍼용 소형 진공 열처리 장치
출원/등록 등록
출원일/등록일 2009.4.17 / 2011.10.12
특허등록번호 제 10-1074843호
비고
태양전지 웨이퍼용 도핑 열처리 장치
출원/등록 등록
출원일/등록일 2009.5.15 / 2011.12.12
특허등록번호 제 10-1074844호
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태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들 및 이송장치
출원/등록 출원
출원일/등록일 2014.12.10 / -
특허등록번호 10-2014-0177756
비고
태양전지 웨이퍼용 도핑 히터
출원/등록 출원
출원일/등록일 2014.10.31 / -
특허등록번호 10-2014-0150612
비고
태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 히터 이송지그
출원/등록 출원
출원일/등록일 2015.12.29 / -
특허등록번호 10-2015-0189081
비고
태양전지 제조용 플라즈마 증착장치
출원/등록 출원
출원일/등록일 2015.12.29 / -
특허등록번호 10-2015-0189077
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